格拉斯哥大學(xué)采用等離子刻蝕系統(tǒng)（牛津儀器公司）

格拉斯哥大學(xué)采用等離子刻蝕系統(tǒng)

（牛津儀器公司）

英國格拉斯哥大學(xué)的詹姆斯•瓦特納米技術(shù)中心在其已安裝的牛津儀器公司刻蝕和沉積設(shè)備基礎(chǔ)上添加了一臺 PlasmaPro® System100 ICP 等離子刻蝕系統(tǒng)。 PlasmaPro System100 ICP 適用于多種用途下的化合物半導(dǎo)體材料刻蝕，如光電子、毫米波&太赫茲技術(shù)、生物工程、生物技術(shù)、芯片實驗室技術(shù)、能量收集技術(shù)和太陽能光伏技術(shù)。

牛津儀器公司的銷售和市場部總監(jiān) Mark Vosloo評價說，“牛津儀器公司主要集中開發(fā)前沿研發(fā)設(shè)備, 而這份牛津儀器公司設(shè)備系統(tǒng)增補訂單強化了我們?yōu)楦窭垢绱髮W(xué)提供研究設(shè)備選擇的承諾。”

“多年來，我們與牛津儀器公司密切合作，將他們的刻蝕和沉積系統(tǒng)成功地用于我們的研究”，詹姆斯•瓦特納米技術(shù)中心主任和半導(dǎo)體儀器教授，Douglas Paul教授說，“我們zui近發(fā)出了一份增補牛津儀器公司系統(tǒng)的訂單，因為我們對這些工具的靈活具有深刻印象。 我們多年來一直使用他們的工具，在我們要推出5nm以下特性尺寸技術(shù)時，將繼續(xù)使用這些工具來開發(fā)新的用于納米制造的刻蝕和沉積工藝。 而且，為了盡可能擴大我們的應(yīng)用范圍并盡可能利用投資，設(shè)備的維護至關(guān)重要，而我們對于牛津儀器公司提供的一貫高品質(zhì)支持服務(wù)極為滿意”。

牛津儀器公司致力于通過科學(xué)技術(shù)實施負責(zé)任的研發(fā)，并深化對世界需求的理解，利用創(chuàng)新將科學(xué)智慧融入到*產(chǎn)品中來支持研究和工業(yè)發(fā)展。

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關(guān)于牛津
　　牛津儀器公司于1959年創(chuàng)建于英國牛津，現(xiàn)已成為世界的科學(xué)儀器跨國集團公司，是光譜儀、測厚儀、能譜儀、等離子設(shè)備、超導(dǎo)超低溫產(chǎn)品、核磁共振儀、低溫泵壓縮機、X射線管等方面的專家，擁有分布于英國、美國、芬蘭、丹麥、德國和中國的十幾個工廠以及遍及的分公司或辦事處。
　　具體產(chǎn)品信息請參見牛津儀器公司中文及英文：
　　www.oichina.cn
　　www.oxinst.com
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